Materiali za tarče so primarno razvrščeni glede na material na kovinske tarče (kot so baker, aluminij in titan), tarče iz zlitin (kot so bakrove-manganove zlitine) in keramične tarče (kot je indij-kositrov oksid (ITO)).
Kovinske tarče so v glavnem sestavljene iz elementarnih kovin ultra{0}}visoke-čistosti, vključno z aluminijem (Al), bakrom (Cu), titanom (Ti) in tantalom (Ta). Aluminijaste tarče se uporabljajo za prevodne plasti v procesih nad 110 nm, medtem ko se bakrene tarče uporabljajo za medsebojne plasti v naprednih procesih pod 110 nm zaradi svoje vrhunske prevodnosti. V pregradnih plasteh tantalove tarče učinkovito preprečujejo difuzijo kovinskih atomov zaradi visokega tališča in močne kemične stabilnosti.
Tarče iz zlitin, kot sta nikelj-krom (NiCr) in kobalt-volfram (CoW), se uporabljajo v kontaktnih slojih ali posebnih funkcionalnih slojih za optimizacijo upornosti in toplotne stabilnosti tankih plasti.
Keramične sestavljene tarče vključujejo okside (kot je indij-kositrov oksid (ITO), silicide in karbide. Uporabljajo se predvsem v pregradnih plasteh (kot je TaN) ali izolacijskih plasteh za preprečevanje difuzije kovin in izboljšanje zanesljivosti naprav. Ko procesi napredujejo k manjšim velikostim, se zahteve za ciljno čistost, strukturno enotnost in nadzor velikosti zrn eksponentno povečujejo. Prihodnji 3nm in višji procesi bodo zahtevali še strožje ciljne zahteve glede kakovosti, ki spodbujajo nenehne inovacije in nadgradnje ciljne tehnologije.
Razvrstitev ciljev za razprševanje
Razvrstitev po obliki: okrogle tarče, ploščate tarče, cevaste tarče
Razvrstitev po kemični sestavi:
·Kovinske tarče (čisti kovinski aluminij, titan, baker, tantal itd.)
· Tarče iz zlitin (nikljeva-kromova zlitina, nikljeva-kobaltova zlitina itd.)
· Tarče iz keramičnih spojin (oksidi, silicidi, karbidi, sulfidi itd.)
Razvrstitev glede na uporabo: tarče za polprevodniške čipe, tarče za ploščate zaslone, tarče za sončne celice, tarče za shranjevanje informacij, tarče za spreminjanje orodij, tarče za elektronske naprave, druge tarče
