Kako vitalno jemolibdenove palice za industrijo polprevodnikovdimenzijska stabilnost?
V delavnicah za rast monokristalnega silicija ali safirja postopek vlečenja kristalov pogosto traja na desetine ali celo stotine ur, temperaturno polje pa je treba natančno nadzorovati nad 1400 stopinj. Ko se komponenta termičnega polja deformira celo za 0,5 mm, lahko premer kristala niha, gostota dislokacij se lahko poveča in stopnja tečenja se neposredno zniža. Največja preglavica marsikaterega inženirja ni nenadna razpoka, temveč »nevidno« lezenje in kopičenje toplote.
Med njimi se molibdenove palice uporabljajo kot osnovni strukturni materiali palic za podporo termičnega polja, sponk kristalov ali grelnih komponent, njihova dimenzijska stabilnost pri nizki-toploti in visoki-temperaturi pa je postala odločilen dejavnik. Toplotni koeficient samega molibdena je zelo nizek, vendar se učinkovitost molibdenovih palic z različnimi čistostmi in tehnologijo obdelave zelo razlikuje pri dolgotrajni-visoki temperaturi in vakuumu. Običajne palice iz sintranega molibdena so nagnjene k mikro-raztezku, ki ga povzroča rast zrn po ponavljajočih se toplotnih ciklih, medtem ko imajo palice iz molibdena visoke-čistosti, ki so bile podvržene več-smernemu kovanju in visoko-temperaturnemu žarjenju, bolj enakomerna orientacija zrn in znatno izboljšana odpornost proti lezenju. Kumulativna deformacija je nadzorovana v zelo majhnem območju.
Uporabili smo tovarno, ki je izdelovala 6-palčne palice iz safirnega kristala. V zgodnjih dneh so uporabljali običajne podporne palice iz molibdena. Toplotno polje je bilo treba kalibrirati vsakih nekaj potegnjenih kristalov, stopnja izkoristka pa se je gibala okoli 65 %. Kasneje, po zamenjavi polprevodniške molibdenove palice z našo optimizirano zrnato strukturo, se je podaljšal čas neprekinjenega vlečenja v eni sami peči, znatno zmanjšalo nihanje toplotnega polja, izboljšala se je konsistenca premera končnega kristala in skupni izkoristek se je povečal za skoraj 15 odstotnih točk. Manj menjav sestavnih delov in manj prilagajanja parametrov ne prinaša le znižanja stroškov, temveč tudi stabilnost proizvodnega ritma.
Zakaj je ta točka tako kritična? Ker je rast polprevodniških kristalov tipičen proces "počasnega in finega dela", se bo kakršno koli premikanje majhne velikosti povečalo skozi temperaturni gradient in se na koncu odrazilo v okvarah kristala. Visoko{1}}kakovostne palice iz molibdena zmanjšujejo tveganje tega odnašanja, kar inženirjem omogoča, da se bolj samozavestno osredotočijo na hitrost in nadzor vlivanja, namesto da skrbijo za strukturne deformacije.
V trenutni hitri fazi kristalov velike-velikosti in polprevodniških materialov tretje-generacije bodo zahteve po stabilnosti opreme postajale vedno višje. Molibdenova palica brez razlike na površini lahko dejansko določi, koliko kvalificiranih rezin se proizvede vsak mesec.
Če izvajate vzdrževanje opreme za rast monokristalov, nadgradnjo termičnega polja ali izbiro novega projekta, mi prosim povejte o stabilnosti termičnega polja ali težavah s kristali, s katerimi se trenutno srečujete. Kombiniramo lahko specifično temperaturno krivuljo in strukturo opreme, da damo bolj ciljno usmerjen material molibdenovih palic in predloge za obdelavo, ki pomagajo popolnoma nadzorovati "nevidne" skrite nevarnosti deformacije.
Stabilizirajte toplotno polje in kristal bo naravno dobro rasel-to je v središču naše naložbe v polprevodniške molibdenove palice.
Ava
